Der Intel Atom Prozessor basiert auf der bereits bekannten 45 nm Fertigungstechnologie (High-K Metal Gate oder kurz HKMG), wie sie auch bei den aktuellen Deskto-Prozessoren zum Einsatz kommt. Dabei sorgt die auf Hafnium basierende Technologie auch hier für reduzierte Leckströme in der CPU, die typischerweise zu unnötigem Stromverbrauch und Wärmeentwicklung führen. Leckströme gehören zur Klasse der statischen Ströme und treten in den letzten Chip-Generationen verstärkt in den Mittelpunkt, da diese durch die immer kleiner werdenen Strukturbreiten begünstigt werden (beispielsweise Tunneleffekte am Gateoxyd). Dem tritt man mit entsprechenden Maßnahmen entgegen, um die CMOS-Schaltungen zu optimieren.
DIE-Shot des nur 25 mm² messenden 45 nm Intel Silverthorne Prozessors.
Ebenso wie die großen Brüder aus der Desktopabteilung verfügt der, unter dem Codenamen Silverthorne entwickelte Atom über die Stromsparmechanismen Enhanced Speed Step und Deep Power Down (C6), mit deren Hilfe große Teile der CPU schlafen gelegt werden können. Als Resultat zeigt sich der Atom mit einer TDP (Thermal Design Power) von 0,6 bis 2,4 Watt je nach Frequenz des jeweiligen Modells und einem laut Intel durchschnittlichen Stromverbrauch von 220 mW, was sich in Anbetracht der hohen Frequenzen von 800 MHz bis 1,86 GHz - je nach Modell - durchaus sehen lassen kann. Ein wichtiger Punkt, wenn man bedenkt, dass die 47 Millionen Transistoren ihre Wärme nur über eine DIE Größe von lediglich 25 mm² abgeben können. Dies entspricht einem Platzbedarf, der unter dem einer Euro-Cent Münze liegt (siehe Bild oben). Um ein Maximum an Leistung und Effizienz aus der 16-stufigen Pipeline des Prozessors zu holen, verfügt der Atom zudem über die Fähigkeit zum Hyper-Threading. Für die Praxis bedeutet dies, dass Silverthorne eine mehrfädige-Architektur nutzt und damit in der Lage ist, schnelle Kontextwechsel zwischen verschiedenen Threads durchzuführen. Damit soll bei gleichen technischen Eckdaten (Frequenz, Cache etc.) und moderatem Hardwareaufwand die Bearbeitungseffizienz der CPU steigen (Threads nutzen gegenseitig Wartezyklen aus). Zu den weiteren Features gehören Intels Virtualisierungs-Technologie und SSE3.
| Modell | Taktrate | FSB | L2-Cache | TDP | Preis |
| Z500 | 800 MHz | 400 MHz | 512 KB | 0,6-0,7 W | 45 $ |
| Z510 | 1,10 GHz | 400 MHz | 512 KB | 2,0 W | 45 $ |
| Z520 | 1,30 GHz | 533 MHz | 512 KB | 2,0 W | 65 $ |
| Z530 | 1,60 GHz | 533 MHz | 512 KB | 2,0 W | 95 $ |
| Z540 | 1,86 GHz | 533 MHz | 512 KB | 2,4 W | 160 $ |
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